HOME
SITE MAP
English
ȸ»ç¼Ò°³
Àλ縻
¿¬Çõ
ÁÖ¿ä°í°´
¿¬¶ôó/¾àµµ
ÁÖ¿ä»ç¾÷
¼ö¸®
ÆǸÅ
Áß°íÆßÇÁ
EDWARDS
ALCATEL/EBARA
LEYBOLD
Ç°Áú¹æħ
Ç°Áú¹æħ
ÀÚ·á½Ç
°í°´Áö¿ø
Q&A
¿Â¶óÀλó´ã
¹èŨ¼Ò½Ä
»õ¼Ò½Ä
ÀϹݰԽÃÆÇ
ÁÁÀº»ý°¢
°í°´Áö¿ø
Q&A
¿Â¶óÀλó´ã
¢Æ
Home
>
°í°´Áö¿ø
>
Q&A
http://
----------------------------------------------------------------
¢Ñ ÀÓöÇö´ÔÀÇ ±ÛÀÔ´Ï´Ù.
¾È³çÇϽʴϱî? ¼ö°í¸¹À¸½Ê´Ï´Ù. Àú´Â Á¶¼±´ëÇб³ ½Å¼ÒÀç°øÇаú ¼®»ç°úÁ¤¿¡ ÀçÇÐÁßÀÎ ÀÓöÇöÀ̶ó°í ÇÕ´Ï ´Ù. Á» ¿©Âå º¸°í ½ÍÀº »çÇ×ÀÌ ÀÖ¾î¼ ÀÌ·¸°Ô ¸ÞÀÏ º¸³À´Ï´Ù. Plasma cvd¿¡¼ TEOS+ O2 ½á¼ SiO2 »êȸ· ½ÇÇèÀ» ÇÏ°í Àִµ¥¿ä. ¸¸¾à TEOS°¡ ¾×ü»óÅ¿¡¼ ·ÎŸ¸® ÆßÇÁ¿¡ ¿ÀÀÏÀ̶û ¹ÝÀÀÀ» ÇÏ¸é °íÈ µÇ¼ ·ÎŸ¸® ÆßÇÁ°¡ °íÀå ³ª±âµµ ÇÏ´ÂÁö¿ä? ±ÍÂúÀ¸½Ã°ÚÁö¸¸ Àü¹®°¡ÀÇ ´äº¯ ºÎŹµå¸®°Ú½À´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù.
----------------------------------------------------------------
Æйи®»çÀÌÆ®
¿¡µå¿öµåÄÚ¸®¾Æ(ÁÖ)
Çѱ¹Áø°øÇÐȸ
Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ
Áø°ø±â¼ú¼¾ÅÍ