문의에 대한 답변이 늦어서 정말 죄송합니다.
진공펌프에 사용되는 OIL은 크게 두가지로 나눌 수 있습니다.
첫째, FOMBLIN OIL
둘째, MINERAL OIL (ULTRAGRADE OIL → EDWARDS PUMP 에서 추천하는 오일 입니다)
또한 각각의 F/M OIL은 사용하는 펌프의 MODEL에 따라 세분화 됩니다.
FOMBLIN OIL은 탄소,불소,산소의 3원자로 구성된 완전한 불소 화합물이며
화학적으로 극히 안정되어 있어 반도체 공정장치, 우주선, 항공기, 자기매체 등의
윤활유로 사용되고 있습니다.
MINERAL OIL은 ROTARY PUMP에 사용되는 가장일반적인 제품으로
기능으로는 밀봉, 윤활, 부식방지, 냉각작용 및 공정 부산물들의 펌프내부에
축적되는 것을 방지 하는데 사용됩니다.
FOMBLIN OIL과 MINERAL OIL에 관한 TECHNICAL DATA는 저희회사 홈페이지 / 주요사업 /
판매 / Vacuum Oil 을 클릭하시면 더욱 자세한 내용을 보실 수 있습니다.
참고사항을 몇가지 알려드립니다.
1. FOMBLIN OIL 06/6의 해석
06 : 점도(Viscosity) 60 cSt at20℃
6 : 10-6 mbar 까지의 허용범위
FOMBLIN 06/6 OIL은 상온 20℃ 에서 10-6 mbar 내의 증기압 까지를 허용범위로,
Viscosity 60 Centistockes를 가진 제품이다.
2. EDWARDS PUMPS에 사용되는 OIL의 종류
FOMBLIN 06/6 → ROTARY PUMP ONLY
16/6 → BOOSTER PUMP ONLY
25/6 → DRY PUMP ONLY
Ultragrade #15 , #19 → 소형 ROTARY PUMP
#20 → BOOSTER PUMP
#70 → 중형/대형 ROTARY PUMP
3. 사용펌프에 맞는 점도의 오일을 선택하셔야 하며, FOMBLIN OIL과
MINERAL OIL은 서로 혼합하여 사용하면 절대 안됩니다.
(OIL 색상이 우유빛 으로 변색 될 것이며, 또한 오일의 역할을 정확하게 수행하지 못하여
PUMP에는 DAMAGE가 가해 집니다)
만약, 서로 다른 성질의 오일이 혼합 되었다면 펌프를 분해하여
MIXING된 OIL을 CLEANING 하여야 합니다.
4. 장비(사용되는 PROCESS GAS)에 맞추어 OIL을 사용하여야 합니다.
TOXIC GAS를 사용하는 공정에 MINERAL OIL이 충전된 펌프를 사용하시면
폭발의 원인이 됩니다.
부족한 지식에 완벽한 답변을 드리지 못하는 점 죄송하게 생각합니다.
감사합니다. |
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