안녕하십니까, 고객님
먼저 소중한 질문에 감사드리며...
일반적인 내용을 말씀 드리겠습니다.
진공펌프를 사용하는 기간에 관하여 정확하게 말씀 드릴 수 없는점 죄송하게 생각합니다.
이유는 펌프를 사용하시는 고객님들의 사업장 각각의 특성과 사용 용도에 따라 진공펌프에 전달되는
저항의 값이 틀리기 때문입니다.
펌프에 사용되는 오일은 크게 fomblin oil과 mineral oil등 두가지로 나뉘며,
펌프의 고장은 대부분 내부오염에 의한 구동불능 또는 오랜시간 운전으로 인한
내부부품의 마모및 열경화에 의한 파손으로 나타납니다.
펌프내부 오염에 의한 구동불능을 설명드리자면...
ROTARY PUMP에 사용되는 오일은 펌프 내부에 정해져 있는 순환로를 통하여 이동하면서,
윤활/밀봉/부식방지/냉각과 같은 역할을 수행하여 진공을 형성 합니다.
BOOSTER PUMP에 사용되는 오일은 유체동력의 목적 즉, 펌프의 구동이 가장 큰 역할이고
냉각/부식방지의 목적으로 사용됩니다.
오일의 생명은 점도 라고 할 수 있습니다.
특히 ROTARY PUMP는 진공형성의 처음이자 배기공정의 최 후단에 장착되는 펌프입니다.
따라서, 장비의 밀폐된 공간(CHAMBER) 내부에서 이루어지는 연구및 생산에 사용되는 GAS /
수분의 형성 / 이물질 등이 진공 최종LINE의 ROTARY PUMP 내부로 유입되어 오일과 반응하여
펌프내부를 오염시키게 됩니다.
이러한 상태로 계속적인 PUMPING시 내부부품인 VANE의 밀봉과 윤활에 영향을 주어
소음이 발생하게 됩니다. 또한 시간이 흐르게 된다면 내부 MAJOR 부품인 회전자(ROTOR),
고정자(STATOR)에 DAMAGE를 가하게 되어 향후 수리비 증가에 영향을 줍니다.
즉, 펌프의 고장은 오일의 오염에서 부터 진행된다고 생각하셔도 됩니다.
오일의 점검주기는 사용공정및 사용요건에 따라 다르나 간략하게 설명드리면,
첫째: 오일 감시창의 오일 색상을 확인하여 주십시요 (오일의 색상이 변색 되었다면 펌프내부는
오염이 시작되는 것입니다).
둘째: GENERAL VACUUM에 사용되는 진공펌프의 오일교환 주기는
ROTARY PUMP 3개월 / BOOSTER PUMP 6개월에 교환하시고
오일의 수용량에 따라 보충 하십시요.
셋째: ROTARY 대형펌프(MINERAL OIL)를 사용하시는 고객께서는
1개월에 1회 오일을 DRAIN 하셔서 오일중의 수분을 제거하시기 바랍니다.
수분은 진공펌프에 가장큰 DAMAGE를 가합니다.
참고: 반드시 펌프회사에서 추천하는 오일을 사용하십시요.
펌프수리와 관련하여 설명 드리겠습니다.
저희회사로 입고되는 진공펌프의 수리기준은 OVERHAUL / CLEANING / INSPECTION / REBUILD /
TEST / 고객사 반출을 원칙으로 합니다.
즉, 펌프수리는 펌프의 처음 부분부터 끝 부분까지의 소모성 부품 교체를 진행합니다.
수리부품은 "SERVICE KIT" 라는 부품의 종합적인 "SET"로 구성되어 있습니다.
"KIT"의 종류는 여러가지로 나뉘며, 내부 구성품으로는 BEARING / 각종RUBBER 부품 / VANE /
OIL SEAL 등등... 이며
참고로 설명드리면, EDWARDS E2M 중형 펌프에 사용되는 MAJOR SERVICE KIT의 구성품은
대략 120가지 부속품으로 구성되어 있습니다.
소모성 부품의 교체사유는 오염에 의한 파손및 오랜시간 사용으로 인한
RUBBER 제품의 열경화및 탄성의 소멸 등에 의한 교체가 진행됩니다.
더욱 자세한 내용을 설명드리지 못하여 죄송합니다.
기술적인 문제나 펌프사용에 관한 질문이 있으시면 문의 바랍니다.
감사합니다 |
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