안녕하십니까?
Ebara A70W 펌프를 사용하고있는데요 몇가지 궁금한것이 있어
질문을드립니다.
최근에 저희가 사용중인 Ebara A70W 펌프가 MP current high alarm
으로 인하여 1~2개월 주기로 shutdown되어 모 업체에서 overhaul을
실시하였는데 그 업체에서 얘기하는것은 MP rotor case에 particle
이 심하여 MP rotor에 영향을 주어 MP current high alarm이 발생
한다고 말씀을 하십니다. 하지만, 제가 알기로는 MP rotor case는
Ebara에서 exhaust line으로 배출되는 부분으로 알고있습니다.
그리고 MP current high alarm은 gear쪽의 MP rotor에 간섭이
일어나서 발생한것으로 알고있습니다. 반응 gas들이 rotor 간섭을
일으킬수가 있는지요? 저희가 많이 사용하는 material은 AsH3,
TMGa, TMAl을 많이 사용하는데...Filtering되어진 gas들이
펌프내부에서 rotor에 damage를 준다는것이 이해가 되질않아
문의드립니다. 펌프의 parts들은 모두 양호한 상태라고합니다.
현재 1~2개월 주기로 MP current high alarm으로 인하여 overhaul을
진행하고있습니다. 제가 잘못 이해하고 있는건 아닌지...
첨부 사진을 보시고 의견을 주셨으면 합니다. |
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