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로터리 펌프에 대해서요 |
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임철현 |
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2004-10-15 |
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4133 |
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none |
안녕하십니까? 수고많으십니다.
저는 조선대학교 신소재공학과 석사과정에 재학중인 임철현이라고 합니
다.
좀 여쭤 보고 싶은 사항이 있어서 이렇게 메일 보냅니다.
Plasma cvd에서 TEOS+ O2 써서 SiO2 산화막 실험을 하고 있는데요.
만약 TEOS가 액체상태에서 로타리 펌프에 오일이랑 반응을 하면 고화
되서
로타리 펌프가 고장 나기도 하는지요?
귀찮으시겠지만 전문가의 답변 부탁드리겠습니다.
감사합니다. |
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