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´ç»çÀÇ MO-CVD Àåºñ¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´ø Alcatal ADS501 Dry Pump¿¡ ´ëü»ç¿ëÇÒ Edwards Dry Pump¸¦ ±¸ÀÔ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù. ADS501°ú µ¿±ÞÀÇ Edwards Á¦Ç° ÃßõºÎŹÇÕ´Ï´Ù. Á¦°¡ °³ÀÎÀûÀ¸·Î ¾Ë¾ÆºÃÀ»¶§ Edwards iH600 Dry Pump°¡ ¿ë·®ÀÌ ºñ½ÁÇÑ Á¦Ç°°°Àºµ¥..ÀÌÁ¦Ç° Æ÷ÇÔÇØ¼ ´ëü»ç¿ëÇÒ ÆßÇÁ Á¾·ù¿Í Áß°í±¸ÀÔ°¡ °ßÀû ºÎŹÇÕ´Ï´Ù. ±âÁ¸ Alcatal Á¦Ç°Àº ¼ö¸®°¡ ¿øÈ°Ä¡ ¾Ê¾Æ Edwards Á¦Ç°À¸·Î ±¸ÀÔÇÏ·Á ÇÕ´Ï´Ù. ÇâÈÄ ¼ºñ½ºÃø¸é¿¡¼ ¿øÈ°ÇÑ Á¦Ç°À¸·Î ÃßõºÎŹÇÕ´Ï´Ù. Áß°íÆßÇÁ ±¸ÀԽà Á¦Ç°º¸Áõ±â°£Àº ¾ó¸¶³ª µÇ´ÂÁöµµ ¸»¾¸ÇØÁÖ¼¼¿ä. °¨»çÇÕ´Ï´Ù.
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