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t_02_01



제.품.명
 iQ Dry Pump
브.랜.드
 Used Pump
반도체 및 LCD 제조 공정에 널리 사용되는 건식 진공 펌프

- 세계 최고의 시장 점유율 확보
- 공정 부산물과 입자 처리를 최적화한 구조
- 높은 배기량
- 적은 유지 비용
- Compact한 디자인



모델 iQ40 iQ80 iQ40/250 iQ80/500 iH80 iH600 iH1000 iL70
유효배기속도(m3/h) 55 96 290 460 103 600 1000 84
최고도달진공도(mbar) 3x10-2 1x10-2 2x10-3 7x10-4 1x10-2 7x10-4 1x10-3 3x10-2
흡입구 규격 ISO40
Bolted
ISO63
Bolted
ISO100
Bolted
ISO63
Bolted
ISO100
Bolted
ISO100
Bolted
ISO63
Bolted
배기구 규격 NW90
모터용량(kW) 2.2 4.0 (iQMB250) 2.2 (iQMB500) 2.2 3.5 6.1 6.1 2.4
무게(kg) 186 216 313 346 240 395 410 230
오일용량(l) 0.4 (iQMB250) 1.63 (iQMB500) 1.63 0.7 1.4 1.4 0.7