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| ▒ Home > 주요사업 > 판매 > Used Pump
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| 제.품.명 | iL Series |
| 브.랜.드 | Used Pump |
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반도체 및 LCD 제조 공정에 널리 사용되는 건식 진공 펌프
- 세계 최고의 시장 점유율 확보
- 공정 부산물과 입자 처리를 최적화한 구조
- 높은 배기량
- 적은 유지 비용
- Compact한 디자인
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| 모델 |
iQ40 |
iQ80 |
iQ40/250 |
iQ80/500 |
iH80 |
iH600 |
iH1000 |
iL70 |
| 유효배기속도(m3/h) |
55 |
96 |
290 |
460 |
103 |
600 |
1000 |
84 |
| 최고도달진공도(mbar) |
3x10-2 |
1x10-2 |
2x10-3 |
7x10-4 |
1x10-2 |
7x10-4 |
1x10-3 |
3x10-2 |
| 흡입구 규격 |
ISO40
Bolted |
ISO63
Bolted |
ISO100
Bolted |
ISO63
Bolted |
ISO100
Bolted |
ISO100
Bolted |
ISO63
Bolted |
| 배기구 규격 |
NW90 |
| 모터용량(kW) |
2.2 |
4.0 |
(iQMB250) 2.2 |
(iQMB500) 2.2 |
3.5 |
6.1 |
6.1 |
2.4 |
| 무게(kg) |
186 |
216 |
313 |
346 |
240 |
395 |
410 |
230 |
| 오일용량(l) |
0.4 |
(iQMB250) 1.63 |
(iQMB500) 1.63 |
0.7 |
1.4 |
1.4 |
0.7 |
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