안녕하십니까.저는 현재 반도체FAB에서 근무중인 김형주라고 합니다. Edwards社 IQDP80/500 Model Pump의 Dry oil Low Warning발생 후 장시간 가동시 문제점에 대해 문의드립니다.
가동 중에 Dry Oil Charge가 불가능한데 가동중에서도 Oil 주입할 수 있는 방법이나 Tool이 있는지 있다면 귀사에서 구매가 가능한지 문의드립니다.
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