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이메일 주소 |
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최성택 |
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2005-10-29 |
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5143 |
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none |
이메일 주소
detectol@hanmail.net 입니다.
그리고 추가적으로 질문을 하면
첫번째 질문했던 대기압에서 진공잡으면 어쩔수 없이 이물이 생긴다면(챔버내에) 만약 챔버와 펌프에 n2를 사용한다면
이물발생을 예방할수 있나요? 혹시나 있던 이물도 없어질수도 있나요>?
반도체에 사용하는 air라 하더라도 n2와 비교했을때 이물관점에서 어느쪽이 더 좋은지 궁금합니다.
빠른 답변 부탁드립니다. |
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